ASML首款用于5nm制程的多光束檢測工具問世
處理器廠商開發(fā)、設(shè)計和制造新的處理器,其中一個重要的方面是計量學(xué),它對整個過程中的制造步驟進(jìn)行分析,以確保你想要發(fā)生的事情是實際發(fā)生。計量學(xué)可以讓制造廠識別機器是否正常工作,也有助于對最終產(chǎn)品的表征,即通過禁硅片的某些電壓/頻率或分選,如果硅片特別差,可以在循環(huán)中提前丟棄,從而節(jié)省資金和時間。 如同制造過程中的許多其他步驟一樣,在晶圓廠內(nèi),計量是一個時間和空間密集型的工作。正如更好的光刻機轉(zhuǎn)向EUV目標(biāo)一樣,既能實現(xiàn)更小的特征,又能加快每片芯片的加工時間,計量的主要目標(biāo)是準(zhǔn)確的報告,這些機器的吞吐量提高,意味著在任何給定的運行中都需要更少的機器,工藝節(jié)點步驟之間的延遲可以縮短。 |