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[討論]蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的 [復(fù)制鏈接]

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離線小學(xué)僧

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-07-05

蒸發(fā)鍍膜都有哪些膜料要預(yù)融或者充氧鍍的，大神說一下！

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離線小學(xué)僧

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2020-07-05

五氧化三鈦怎么鍍的

離線yzhuang

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2020-08-10

一般氧化物都充一點，包括sio2，不過會失氧多一些的ti3o5等充氧量大一些

離線cc327

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2020-08-20

回小學(xué)僧的帖子

小學(xué)僧:五氧化三鈦怎么鍍的 (2020-07-05 22:50) @Ik@1

需要充氧

離線ouyuu

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2020-08-23

氧化物最好都充氧。

離線shunzi130

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2020-10-10

充60-70sccm

離線ouyuu

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2020-10-10

鍍膜并不是以分子形式，而是以單獨原子的方式蒸發(fā)的。
不同原子的質(zhì)量不同，蒸發(fā)速度和運動角度也不一樣。
所以在蒸發(fā)早期或者末期，還有大角度區(qū)域，可能會發(fā)生氧不足的情況。