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摘要 $.{CA-~%[ pn3f{fQ 對于許多應(yīng)用來說(例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對于這些應(yīng)用,傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘。在此示例中,介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 =+;1^sZ 5(e?,B } \)Jv4U\; =Lx*TbsFYt 設(shè)計(jì)任務(wù) dayp1%d mw0#Dhyy1= /!J1}S N5 ITb0Tv 1級參數(shù)優(yōu)化 B~zP!^m ^@f%A< 6&V4W"k {.F``2 結(jié)果-容差分析 CY2DxP
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