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摘要 >"{3lDyq- QK%{\qu 對于許多應(yīng)用來說(例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示),如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對于這些應(yīng)用,傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊舛皇熘。在此示例中,介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于給定的方向級次,優(yōu)化的光柵展示出超過90%的衍射效率。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 #)tt}GX |jk"; h TV#pUQ3K x;99[C!$ 設(shè)計(jì)任務(wù) k!>MZ 't{~#0d= 9h<]; x}i:nLhL 1級參數(shù)優(yōu)化 #O/ihRoaO D?)91P/R PR|F-/o mMS%O]m,| 結(jié)果-容差分析 * h!gjbi _)yn6M'Dt t)=u}t$ 200/ 結(jié)果-容差分析 (g`G(K_ r;g[<6`!S Jv %,v? 2)Grl;T]s VirtualLab Fusion一瞥 1\=)b< y B?`Gs^Y{z 3J32W@}.K IKMkpX!] VirtualLab Fusion中的工作流程 9i*t3W71] B+#!%J_ 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu)
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