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摘要 oi7@s 0@ P-_6wfg,;> 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 b<[Or^X
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R{ `(c/%8 建模任務(wù) *->W^1eGM
tPWLg),
 FW;?s+Uy x T9| m7 入射平面波 sjHE/qmq-Z 波長 2.08 nm q CC.^8 光斑直徑： 3mm wYXQlxd
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