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摘要 3'i(wI~<[ (dyY@={q
O/#uQn} iWA?FBv 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。 +`1~zcu l.
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YjL'GmL< 2,g4yXws5 觀測(cè)傾斜平面 h*
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