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    [論文]應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-05
    摘要:離軸照明是現(xiàn)代投影光刻中的一種重要的分辨率增強(qiáng)技術(shù)。針對(duì)不同的照明模式要求,提出了一種利用自 由曲面來實(shí)現(xiàn)離軸照明的方法。根據(jù)入射面和目標(biāo)面之間的坐標(biāo)拓?fù)浜湍芰渴睾汴P(guān)系,利用數(shù)值求解法得出自相 應(yīng)的折射式自由曲面并對(duì)結(jié)果進(jìn)行模擬,分別設(shè)計(jì)了環(huán)形、二極和四極照明,照明效率均達(dá)到90%以上,照明均勻 性均優(yōu)于93%。結(jié)果表明,可以滿足193nm投影光刻照明系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求。 ,[N%Q#  
    a H yx_B  
    關(guān)鍵詞:光學(xué)設(shè)計(jì);自由曲面;投影光刻;分辨率增強(qiáng);照明;光束整形
    附件: 應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計(jì).rar (1524 K) 下載次數(shù):88 ,售價(jià):2光幣[記錄]
    1條評(píng)分 ,光幣+5
    cyqdesign 光幣 +5 - 2020-08-05
     
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    離線ttb2016
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2020-08-05
    感謝分享!
    離線anti
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2020-08-09
    謝謝樓主分享,最近在設(shè)計(jì)光固化光路,很值得學(xué)習(xí)
    離線sgq123
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2020-09-22
    謝謝樓主分享,,很值得學(xué)習(xí)
    離線chenfeng1205
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2020-11-09
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)
    離線果凍ssr
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2020-11-10
    自由曲面資料太少了 LuNc, n%  
    離線火車污污
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2020-12-28
    謝謝分享
    離線daxingyang
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2021-01-26
    光行天下的干貨是越來越多了
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2021-10-21
    數(shù)值求解方法和種子曲線擴(kuò)展方法,兩者有什么區(qū)別呢
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2023-01-13
    謝謝樓主分享