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摘要 Ixa0;nxj VRd7H.f,A6 復雜光學光柵結構被廣泛用于多種應用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結構嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設置堆棧的幾何形狀,從而產生復雜的光柵結構。本案例主要集中于具有二維周期光柵結構的配置。 GKt."[seV +x2JC' -H 1. 本案例主要說明: ,P
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