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摘要 x
8lgDO ]Cd1& 復雜光學光柵結構被廣泛用于多種應用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結構嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復雜的光柵結構。本案例主要集中于具有二維周期光柵結構的配置。 sXm8KV
nnLE dJ}n 1. 本案例主要說明: Qd"{2> 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結構,通過: 5fi6>> - 基于介質(zhì)的定義類型 >o #^r; - 基于表面的定義類型 Ep-{Ew{T_= 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結構。 ?Pz:H/$ 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結構稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 )yp+!\ r2?-QvQ 2. 光柵工具箱初始化 `=b)fE 初始化 _urv
We - 開始→ et]-;(M 光柵→ hl}@ha4' 一般光柵光路圖(3D光柵) AkdONKO8{ 6b+\2-eq
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