摘要 (5q%0|RzRs  
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對(duì)于許多光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射�？刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的納米或微米結(jié)構(gòu)，啟發(fā)來(lái)源于自然界（蛾眼）。這些具有亞波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中，介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。 _7#tgZyv  
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設(shè)計(jì)任務(wù) LJ(n?/z%  

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如何優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的參數(shù)？最小化空氣-PMMA界面的反射？ }S vw,c  
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掃描參數(shù)空間以獲取初始解 4
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初始解#1的參數(shù)優(yōu)化 GX@W"y  
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最終設(shè)計(jì)#1的性能分析 q^N0abzgP  
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初始解#2的參數(shù)優(yōu)化 t{X?PF\>o  
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最終設(shè)計(jì)#1的性能分析 MKe^_uF  
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VirtualLab Fusion一瞥 Dr6s^}}~n  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Vm
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 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) ;vJ\]T ml  
─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces skI(]BDf  
─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media 5c]}G.
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 分析光柵衍射效率 3ximNQ}S  
─ Grating Order Analyzer Q54r?|'V  
 使用參數(shù)運(yùn)算尋找初始解 5 o#<`_=J  
─ Usage of the Parameter Run Document Uvh~B^6  
 使用參數(shù)優(yōu)化確定最終解 +5HnZ?E\  
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VirtualLab Fusion技術(shù) qX5yN|