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摘要 |58xR.S'g b,uudtlH 通常,計算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實。 其中一個例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計:制造技術(shù)不能實現(xiàn)完美的銳利壁,而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果,根據(jù)用戶指定的值對其邊緣進行圓整,以便分析更真實的結(jié)構(gòu)。 6>&h9@ fm1yZX?`
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