衍射光學(xué)器件（DOE）設(shè)計(jì)與加工承接。針對(duì)各類衍射和微納光學(xué)器件，通過應(yīng)用VirtualLab Fusion內(nèi)置的迭代傅里葉變換算法（Iteration Fourier Transform Algorithm，IFTA）能夠快速的實(shí)現(xiàn)各類衍射微納光學(xué)器件的設(shè)計(jì)和優(yōu)化，并進(jìn)行公差分析（如對(duì)齊、加工高度以及倒角等），最后導(dǎo)出GDSII文件以用于DOE的加工。