介紹了
光學(xué)元件的
疵病類型以及疵病檢測
標(biāo)準(zhǔn)，全面介紹了
光學(xué)元件疵病檢測方法的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀。歸納出目前光學(xué)元件的疵病檢測標(biāo)準(zhǔn)和檢測方法的發(fā)展趨勢及關(guān)鍵技術(shù)。分析表明，目前已有的疵病檢測方法中還缺乏一種檢測手段可以做到對所有類型疵病實現(xiàn)所需
精度的檢測，并且由于
視場受限、難以定量等技術(shù)障礙而無法建立高效、自動化的檢測分析
設(shè)備。
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