摘要:慣性約束聚變高功率固體激光裝置研制對大口徑光學元件提出了全頻段精度控制指標要求,以及高效率、批量 化制造需求。本文圍繞“超精密、確定性”強激光光學元件全流程制造方法,總結(jié)了近幾年大口徑強激光光學元件超 精密制造技術(shù)取得的重要進展,重點介紹了單點金剛石超精密切削技術(shù)、非球面超精密數(shù)控磨削技術(shù)、確定性拋光技 術(shù)等一系列關鍵技術(shù),以及相關工藝及裝備在強激光光學元件批量制造流程線中的應用情況。 6r0krbN
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關鍵詞:高功率固體激光裝置;大口徑光學元件;光學超精密制造技術(shù);確定性拋光