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1. 摘要 'rb'7=z5 _kFYBd 亞光波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí),因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。 為了克服此問(wèn)題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來(lái)為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過(guò)程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。 K:y^OAZfV iO1nwl !# 2. ·建模任務(wù) uk`8X`' rAdacnZV .wrL3z_ 3. 結(jié)果 VyG4(Xva lz |
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u+xa{b| 4. 文件和技術(shù)信息 Zt3}Z4d o**y
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