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案例563(1.0) EmR#)c~(W =lG5Kc{B 1.建模任務(wù) rT
~qoA\ G}\E{VvWh 這個案例將演示設(shè)計與分析一個折射率調(diào)制的擴散器圖層以生成Top Hat圖案。 5X-cDY*| 設(shè)計包括兩個步驟: dDy9yw%f? - 設(shè)計相位函數(shù)來生成一個角譜Top Hat分布。 Piz/vH6M} - 基于相位調(diào)制來計算對應(yīng)的折射率調(diào)制。 d&0^AvM@ 如果想要更詳細的解釋設(shè)計和分析步驟,請參見教程Tut565。 "sRR:wzQu ( UV8M\ DY{JA
*N 照明光束參數(shù) 7Q.?]k& z>hG' p9 |r y+t 波長:632.8nm ([ xYOxcp5 激光光束直徑(1/e2):700um ` oYrW0Vm 8\t~*@" 理想輸出場參數(shù) e p;_' :nw4K(:f H6*d#! F,`y_71< 直徑:1° I"9S 分辨率:≤0.03° Zcv1%hI 效率:>70% 9[B*CD| 雜散光:<20% 8fJ- XFK$: =8fp4#]7 2. 設(shè)計相位函數(shù) ,?7URx* #G^?4Za Ssr
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