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案例563(1.0) AB=daie gMY1ts}Z 1.建模任務(wù) !HrKXy0{ [.m`+ 這個案例將演示設(shè)計與分析一個折射率調(diào)制的擴(kuò)散器圖層以生成Top Hat圖案。 sA/pVU 設(shè)計包括兩個步驟: |*:'TKzNS - 設(shè)計相位函數(shù)來生成一個角譜Top Hat分布。 Y-pzy']4 - 基于相位調(diào)制來計算對應(yīng)的折射率調(diào)制。 @*OZx
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