案例315（3.1） NXDV3MH= Ov%9S/d 該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 zqYfgV
hBLg ;"=Em 1. 線柵偏振片的原理 {U=za1Ga a(Z" }m 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 B! < {s'
2. 建模任務(wù) ?MeP<5\A
UR-e'Z&]
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。
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偏振元件的重要特性： p M[UC{
偏振對比度 ] -{T-*h:
透射率 hFa \x5I5
效率一致性 SVXey?A;CJ
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) *Gu Cv3| WP^%[?S2 3. 建模任務(wù)： TQ@*eoJj
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
L6$,<}l 4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) !9iVe7V
#_7}O0?c3 偏振片#1: zZ-e2 )1v 偏振對比度不小于50@193nm波長 XNu2G19jb 高透過率(最大化) Q'~;RE%T 光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) drtQEc>qT 光柵材料：鎢(適用于紫外波段) C<w9f 偏振片#2: b'9G`Y s^ 偏振對比度不小于50@300—400nm波段范圍內(nèi) GUat~[lUrj 在波長范圍內(nèi)具有5%一致性的高透過率 6 xz&Qi7w 光柵周期：100nm {!oO>t 光柵材料：鎢 Iob o5B
7Ox vq^[ 5. 偏振片特性 }aX).u
o'Tqqrr 偏振對比度：(要求至少50:1) )J #@L* j-{WPJa4\ 
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d\Dxmb]o 一致性誤差，如Ex的透射(在要求波長范圍內(nèi)不超過5%) G2L7_?/m
;oR-\;]/.
iQa Q"s 4dfe5\ 6. 二維光柵結(jié)構(gòu)的建模 7CG_UB
t]vX9vv+D
.WG@ "2z|
該案例使用一般二維光柵工具，該工具嵌入在VirtualLab光柵工具箱。 SZwfYY!ft0
通過使用該功能可處理不同類型的光柵形狀。 A
