與傳統(tǒng)光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優(yōu)勢(shì)。在此示例中，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)將入射光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形納米柱構(gòu)成，并且在VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評(píng)估超光柵的衍射效率。并且，我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來(lái)提高衍射效率的均勻性。