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HSL.002(4.0) 5&+
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2b Xv=n+uo 摘要:這個案例分析了由衍射擴散器元件實現(xiàn)的單色準分子激光光束的均勻化,最終生成一個圓形高帽。 L6 hTz' e:!&y\'"9 1.建模任務 FS1<f: DFR.F:O% 7M^!t X 2.光源參數(shù) bnUd !/; (y#8z6\dx %4+r& ur*1I/v \t^q@}~0Wz • LED模型:Gaussian Type Planar Source(高斯型平面光源) lh8`.sWk4V • 光源平面直徑:100μm×100μm oD~VK,. • 空間相干長度:3μm×3μm
Sn" 1XU • 相應的發(fā)散角(HWHM):~0.89×0.89° "{L%5:H@ • 波長:351nm mpXco *!_ Ngh9+b6[ 3. 衍射擴散器透過率函數(shù) *Swb40L^ mY;Y$fz;xL hD # Yz< 一個衍射勻光元件,可以使用一個具有如下技術參數(shù)的衍射擴散器透過率函數(shù)來模擬: A[=)Zw
" • Phase-Only元件 EiIbp4*e • 采樣距離:5μm n1.]5c3p • 大小:640μm×640μm K^s!0[6 • 相位級:8 @ZD1HA,h" • 生成的目標模式:圓形高帽 h_x"/z& ^Zydy TQ>kmHWf/ }UQBaqDH 4. 光源的輻射特性 Z"%
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