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激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) G@8wv J Rd|M) 應(yīng)用案例概述 #'fQx`LV 9FcH\2J 系統(tǒng)細(xì)節(jié) W+'f|J= ~aL&,0 光源 N+CcWs!E – 綠光二極管 /=gU 元件 Gr|IM,5P4 – 雙軸振鏡掃描儀 WJBwo%J – F-Theta物鏡 }_,={<g 探測(cè)器 Nf1&UgX – 場(chǎng)曲和畸變探測(cè)器 x#jJ
0T – 光束強(qiáng)度剖面探測(cè)器 9ohO-t$XkY – 焦點(diǎn)區(qū)域探測(cè)器 AVi,+n – 光束參數(shù)探測(cè)器 dz,4);Mg 模擬/設(shè)計(jì) 5-.{RU= – 光線追跡:分析掃描場(chǎng)尺寸,場(chǎng)曲以及畸變 wak`Jte=}m – 場(chǎng)追跡:考慮衍射效應(yīng),進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 / 0y5/ 7i0;Ss* 系統(tǒng)說(shuō)明 ?,oE_H <qjolMO` (&oT6Ji 激光掃描系統(tǒng)的性能評(píng)估 b.mWB`59 ds:&{~7L<T 一個(gè)激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個(gè)掃描儀單元和一個(gè)F-Theta物鏡,在一維掃描過(guò)程中(沿入射角Theta),通過(guò)分析光束的場(chǎng)曲和畸變來(lái)評(píng)估其性能。 iL;{]A'0 此外,計(jì)算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。
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