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    [分享]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-18
    激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) G @8wv J  
    R d|M)  
    應(yīng)用案例概述
    #'fQx`LV  
    9FcH\2J  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) W+'f|J=  
    ~aL&,0  
    光源 N+CcWs!E  
    – 綠光二極管 /=gU  
    元件 Gr|IM,5P4  
    – 雙軸振鏡掃描儀 WJBwo%J  
    – F-Theta物鏡 }_,={<g  
    探測(cè)器 Nf1&UgX  
    – 場(chǎng)曲和畸變探測(cè)器 x#jJ 0T  
    – 光束強(qiáng)度剖面探測(cè)器 9ohO-t$XkY  
    – 焦點(diǎn)區(qū)域探測(cè)器 AVi,+n  
    – 光束參數(shù)探測(cè)器 dz,4);Mg  
    模擬/設(shè)計(jì) 5-.{RU=  
    光線追跡:分析掃描場(chǎng)尺寸,場(chǎng)曲以及畸變 wak`Jte=}m  
    – 場(chǎng)追跡:考慮衍射效應(yīng),進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 / 0y5/  
    7i0;Ss*  
    系統(tǒng)說(shuō)明 ?, oE_H  
    <qjolMO`  
    (&oT6Ji  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評(píng)估 b.mWB`59  
    ds:&{~7L<T  
     一個(gè)激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個(gè)掃描儀單元和一個(gè)F-Theta物鏡,在一維掃描過(guò)程中(沿入射角Theta),通過(guò)分析光束的場(chǎng)曲和畸變來(lái)評(píng)估其性能。 iL;{]A'0  
     此外,計(jì)算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。