測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) uk<9&{ 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 &FN.:_E
1. 系統(tǒng)說(shuō)明 -C?ZB}` 光源 ?+}_1x` — 氙氣燈(部分相干白光) Y glmX"fLf 組件 : E )>\& — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測(cè)樣品 E#N|w q 探測(cè)器 M:B=\&.O — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) 5taT5?n2 建模/設(shè)計(jì) .jWC$SVR — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 _.Uh)-y R — 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)： L>4 "( 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對(duì)比度 68WO~* 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 8NAON5.! .jjG(L 2. 系統(tǒng)說(shuō)明 6zuTQ^ pz 參考光路
;u46Z 
