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- 注冊時間2020-06-19
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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) /asyj="N7 應用示例簡述 >a4Bfnf"eI 1. 系統(tǒng)說明 }p- %~Y 光源 RmNF]"3% — 氙氣燈(部分相干白光) rz7yAm 組件 )d.7xY7! — 分束器和合束器,消色差準直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 ptDA))7M/ 探測器 h,p&/oU4U — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應 'xi.. 建模/設計 oNCDG|8z — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 _SFD}w3b$ — 幾何場追跡Plus(GFT+): (u'/tNGS 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 #ASu
SQ 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 mMjVbeh[ 73<iK]*c 2. 系統(tǒng)說明 v'@LuF'e8 參考光路 7I44BC*R~ =:0(&NCRq 3. 建模/設計結果 AMm O+E?
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