測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) ZUXse1, 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 Y@]);MyL
1. 系統(tǒng)說明 G(As%r] 光源 -VWCD,c — 氙氣燈(部分相干白光) 2 2GnbA7O 組件 #d Z/UM(u — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測(cè)樣品
VFl 1 f 探測(cè)器 %6A-OF — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) uNe}"hs 建模/設(shè)計(jì) =t 3vbV — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 5#0A`QO — 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)： =a)iVXSB] 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對(duì)比度 [,<\RviI 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 3 >Q@r>c ~V2ajM1Z&O 2. 系統(tǒng)說明 ovd^,?ib 參考光路
'Aj(i/CM 
K85_>C%g d7"U WY^ 4. 總結(jié) &Y,Q>bu 邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案的研究以及作為高度掃描裝置的應(yīng)用 :[Qp2Gg O\ 1. 仿真 bZ>&QM 以光線追跡對(duì)干涉儀仿真。 D =r- 2. 計(jì)算 w"cM<Ewu 采用幾何場(chǎng)追跡Plus引擎以計(jì)算干涉圖樣。 cQT1Xi 3. 研究 908ayfVI 測(cè)繪掃描儀的仿真和樣本高度輪廓的測(cè)量 S3u yn78hI rI0)F 利用VirtualLab軟件可對(duì)邁克爾遜干涉儀生成的干涉圖案進(jìn)行研究分析。 VQ`,#`wV uAu( +zV2 應(yīng)用示例詳細(xì)內(nèi)容 (8CCesy&
系統(tǒng)參數(shù) !2} rt DE
hZAG (Z 1. 仿真任務(wù)：邁克爾遜干涉儀 ^^ G-kg
i2$*}Cu 通過使用這種干涉儀裝置，可測(cè)量?jī)晒馐g的相對(duì)光程差。 HE Bqv+bG @Q;i. u{V 事實(shí)上，結(jié)合白光光源的有限相干長(zhǎng)度可以研究樣品的高度輪廓（輪廓掃描干涉儀）。 f.| |PH
=/6p#d*0 2. 參數(shù)：光源 9i0M/v x
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