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VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真，如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。 Z+`{JE#
=?`y(k4a 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有： sBuq
%x'bo>h@ 干涉儀 U~){$kpI# 光譜儀&單色儀 6ljRV) 表面計(jì)量系統(tǒng) :>er^\
p0y0T|H^ VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 $@:>7Y"
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. ;ea]_Z 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 }Nd`;d
包含部分相干和衍射效應(yīng) 0imqj7L 尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析 Z,8+@ 真彩色獲取 VATXsD 便于使用的位置概念 H>X>5_{} 干涉條紋的計(jì)算 4-}A'fTU8 測(cè)繪掃描系統(tǒng)的仿真 jFPE>F7-M 全譜段高分辨率分析 J:mu%N` 8)q]^
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