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上海光機(jī)所在氧化銦錫薄膜光電特性調(diào)控技術(shù)方面取得新進(jìn)展

發(fā)布:cyqdesign 2020-11-23 11:39 閱讀:1452
近期,中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室在調(diào)控氧化銦錫(ITO)薄膜光電特性取得新進(jìn)展,創(chuàng)新性地利用高效、可選擇性的準(zhǔn)連續(xù)(QCW)激光退火技術(shù)對(duì)ITO薄膜載流子進(jìn)行調(diào)控,在基本不改變ITO薄膜導(dǎo)電特性的前提下,實(shí)現(xiàn)了ITO薄膜近紅外波段透過率的顯著提升,相關(guān)成果發(fā)表于《應(yīng)用表面科學(xué)》(Applied Surface Science)。 n\Z& sc