SEM/EDX（形貌觀測、成分分析）掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X射線波長和強度實現(xiàn)的，根據不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡（SEM）使用，可以對樣品進行微區(qū)成分分析。 Y7WU4He L  
<0!)}O  

圖片:5ccd820c7dd057552dfc62534beebea.png

<nbc RO.  
]5sU =\  
應用范圍：軍工，航天，半導體，先進材料等 #5=!ew  
測試內容： 6'6,ySo]  
1. 材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察 &.)ST0b4  
2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析 |$&v)  
3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析 3&"+)*/ m  
4.納米尺寸量測及標示 \>p\~[cxt  
5.微區(qū)成分定性及定量分析 f&88N<)  
K\y W{y
1