建模目的:如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合,以構建復雜結構光柵,并進行近場分析和內部場分析 0F<$Zbe2B 工具箱:光柵工具箱 Sz>Lbs 關鍵詞:矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 I[P_j`aE 組合光柵結構參數: qP72JxT 圖1:光柵參數示意圖 v_,'NA0
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 MLN+ BuS
} ^WmCX2a 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) Wo~;h(6 (1)
BO'7c1FU (2)
c>BDw< (3) lMe+.P|
圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟1)示意圖 S&NWZ:E3[
2) 雙擊
,進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。 t>eeOWk3
0lS=-am 圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟2)示意圖 G.>Ul)O:a
3) 進入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 EU.!/'<
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wd< (1)
#O!gjZ, 
(2) !_>o2
(3)
圖4:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟3)示意圖 [BFPIVD)h]
4) 點擊
,進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface),輸入光柵一的結構參數,并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm,如下圖所示 z,(.` %h
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