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    [分享]VirtualLab矩形組合光柵建模 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-12-25
    建模目的:如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合,以構建復雜結構光柵,并進行近場分析和內部場分析 uL:NWgN  
    工具箱:光柵工具箱 -S&d5(R  
    關鍵詞:矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 s#aane  
    組合光柵結構參數(shù) R8YU#D (Q  
    圖1:光柵參數(shù)示意圖 b?<@  
    使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 of >  
    o)Px d  
    1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) mR|']^!SE  
    (1)
    C0khG9,BL  
    (2)
    ScQ9p379  
    (3) gc b8eB ,  
    圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟1)示意圖 uz:r'+v  
    2) 雙擊 ,進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。 m63>P4h?  
    p9!jM\(  
    圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟2)示意圖 |x=(}g  
    3) 進入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 oW>e.}d!  
    uH7!)LE#  
    (1)
    1c*:" k  
    (2) &'/bnN +R  
    (3)
    圖4:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟3)示意圖 zQ+ %^DT1  
    4) 點擊 ,進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface),輸入光柵一的結構參數(shù),并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm,如下圖所示 &V%faa1  
    #MviO!@  
    圖5:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟4)示意圖