建模目的:如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合,以構建復雜結構光柵,并進行近場分析和內部場分析 uL:NWgN 工具箱:光柵工具箱 -S&d5(R 關鍵詞:矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 s#aane 組合光柵結構參數(shù): R8YU#D (Q 圖1:光柵參數(shù)示意圖 b?<@
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 of >
o)Px d 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) mR|']^!SE (1)
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圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟1)示意圖 uz:r'+v
2) 雙擊 ,進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。 m63>P4h?
p9!jM\( 圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟2)示意圖 |x=(}g
3) 進入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 oW>e.}d!
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圖4:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟3)示意圖 zQ+
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4) 點擊 ,進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface),輸入光柵一的結構參數(shù),并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm,如下圖所示 &V%faa1
#MviO!@ 圖5:使用VirtualLab光柵工具箱進行建模步驟4)示意圖