通過從
光學(xué)分析
模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析
軟件讀取的宏文件來與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型,以納入機(jī)械干擾的影響。這些干擾可能是表面運(yùn)動(dòng)和形狀變化,集成的OPD或
折射率分布。
Lc! t sDl@ 熱光分析 ~jD~_JGp ;|r<mT/, 熱光分析涉及預(yù)測(cè)由于透射光學(xué)中溫度變化引起的折射率變化而引起的光學(xué)性能變化。如圖1所示,SigFit從熱有限元模型和熱光
材料特性中獲取溫度分布預(yù)測(cè)值,并能夠使用兩種方法進(jìn)行熱光預(yù)測(cè):OPD積分方法和用戶定義的梯度指數(shù)方法。
]Il}ymkIZ c@|f'V4 OPD集成方法 BK)3b6L=% 7!PU}[: 熱光分析的第一種方法是通過有限元模型進(jìn)行積分,以計(jì)算沿積分路徑的光程差(OPD)。
<TEDqQ pv"QgH 用戶定義的漸變索引方法 k< $( `;)op3A' SigFit中的第二種熱光分析方法為光學(xué)分析中用戶定義的漸變折射率
鏡片功能生成輸入。在此技術(shù)中,SigFit生成受干擾折射率分布的三維表示,與SigFit隨附的動(dòng)態(tài)鏈接庫結(jié)合使用,以允許進(jìn)行光學(xué)分析以獲得每個(gè)
透鏡中任何位置的折射率。與OPD集成方法相比,此方法具有更高的準(zhǔn)確性,但計(jì)算量卻大得多。
XE($t2x,M vn1*D-? 應(yīng)力光學(xué)分析 XDyFe'1I K_GqM9 類似于熱光分析,應(yīng)力光學(xué)分析可預(yù)測(cè)由于透射光學(xué)
器件中的應(yīng)力引起的平均折射率變化而導(dǎo)致的光學(xué)性能。SigFit將有限元分析的應(yīng)力結(jié)果與應(yīng)力光學(xué)特性結(jié)合使用,以通過OPD集成方法計(jì)算OPD貼圖。沒有光學(xué)分析軟件將支持用戶定義的代表應(yīng)力-光學(xué)折射率分布的梯度折射率透鏡,因此只有OPD集成方法可用于應(yīng)力-光學(xué)分析。
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