3m` >D
e
光柵的嚴(yán)格分析 }$4z$&
,1$F #Eh VirtualLab使用傅里葉模式法（FMM）實現(xiàn)2D和3D光柵的嚴(yán)格仿真，包括： h0@a"DqK • 表面光柵 %dFJ'[jDL • 體光柵 b' y* \9Ru • 衍射光柵 dkZe.pv$j • 全息光柵 \`2'W1O • 布拉格光柵 U`mX
f #D • 零階光柵 Mz p<s<BX • 蛾眼結(jié)構(gòu)
p;w&}l{{ 該分析包括偏振效應(yīng)（TE-TM或xy坐標(biāo)系），傾斜的自由定位和一般入射波. 7upko9d/ . : Wf>: 兩界面之間光柵的金字塔式3D表面光柵和折射率調(diào)制
結(jié)果與可視化 %
D
)Y7H@e\1 下面的數(shù)據(jù)可以作為分析的結(jié)果被計算和可視化： $`E? =L`$ • 衍射效率：表格和極坐標(biāo)圖 <gkE,e9 • 反射，透射，吸收 ~v.m bh • 近場 ,,gMUpL7_8 • 光柵內(nèi)部區(qū)域 ,X4+i8Yc 數(shù)值的精度可以通過參數(shù)運行控制,近似幾何光學(xué)方法可用于長周期光柵的快速計算。 `$B?TNuch7 對于一個1d的光束分離器（左）和一個正弦表面光柵效率圖（右）
wtY)(k a 系統(tǒng)和應(yīng)用程序 ?,>3uD#
s5nw<V9$] 光柵正在在光學(xué)應(yīng)用越來越廣泛。應(yīng)用范圍包括： .B:ZyTI • 減反結(jié)構(gòu) ""0 Y^M2I • 起偏器 +'<P W+U$ • 光譜 yV(#z2| • 衍射光束分束器 s6,~J F^ • 光伏發(fā)電系統(tǒng) dLiiJ6pl* • 光纖耦合 |nefg0`rk • 人造材料 d4 S4
e • 光子晶體 z1J)./BO • 晶圓檢測系統(tǒng) lYG`)#T 
MzIDeZ 圓柱形微
透鏡陣列，具有
納米尺寸的防反射結(jié)構(gòu)
減反光柵的設(shè)計 lL)f-8DX
GW,EyOE+~
可以用二維和三維光柵來設(shè)計防反射結(jié)構(gòu)。VirtualLab為光柵和可編程分界面提供了廣泛的模版，為描述用戶自定義光柵結(jié)構(gòu)提供了無限制的靈活性。參數(shù)運行和參數(shù)優(yōu)化可用于給定目標(biāo)函數(shù)條件下的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，例如要求反射率最小。 Y) sB]!hx
光柵和反射率取決于立柱結(jié)構(gòu)的直徑：反射率最低在140納米處 w2
Y%yjCV
qLEYBv-3
例如枕型亞波長光柵可以被用來控制一個表面的反射率。VirtualLab提供了傅立葉模式法來分析與優(yōu)化3D光柵結(jié)構(gòu). 還可對其它更多的參數(shù)進行考察，如波長。 `MI\/oM@
jY=y<R_oK
偏振光柵的設(shè)計 6$urrSQ`N0
3FiK/8mu
光柵可以用來控制透射光的偏振。VirtualLab可以設(shè)計這種偏振光柵。 Wk%|%/:
對于可見光的光譜（左），用于改變狹縫寬度和矩形光柵的調(diào)制深度的最低偏振對比度可以被計算（右）。 3``JrkPI
syl 7i>P
利用偏振分析器，可以計算可見光的整個光譜范圍的偏振對比度。這使得我們可以對光柵在x軸和電場的y分量之間的對比度進行優(yōu)化。對于矩形光柵，可以計算出狹縫寬度和調(diào)制深度的最優(yōu)值。 UI AazDyC
w;O-A TUzN
光學(xué)系統(tǒng)中的光柵 cGV%=N^BE<
(<Cq_K w
光柵也可以用作光學(xué)系統(tǒng)，如成像系統(tǒng)或晶圓檢查系統(tǒng)。在這種情況下，光柵被一般的入射光照射。這需要將模型從理想無限的平面波推廣到一般的平面波。 0AO^d[v
成像系統(tǒng)具有一個光柵元件 s5*4<VxQN.
NY.Cr.}
這種系統(tǒng)的模擬是基于VirtualLab場追跡的方法。在一個模擬計算中集合不同的模擬技術(shù)。亞波長光柵使用FMM進行嚴(yán)格分析。在低發(fā)散入射波的情況下可以使用快速的旁軸近似方法。對于特殊的應(yīng)用可以使用可編程元件來發(fā)揮用戶自定義方法的靈活性靈活性。 x=DxD&I!J
VIF43/>(
1/-3m Po
QQ：2987619807 Y<T0yl?
