《先進光學元件微納制造與精密檢測技術》以非球面光學元件的制造技術為代表，完整闡述了以超精密、確定性為特征的先進光學制造系統(tǒng)；重點論述了超精密磨削成形理論、磨削加工關鍵技術以及超精密機床設計技術；圍繞實現(xiàn)確定性拋光，詳細闡述了氣囊拋光原理以及進動運動控制技術；介紹了基于坐標測量和干涉測量的非球面面形誤差測量技術，加工軌跡規(guī)劃原理和數(shù)據(jù)處理方法，以及不同加工階段光學元件亞表面缺陷的檢測方法。 E}GSii%S  
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《先進光學元件微納制造與精密檢測技術》內(nèi)容豐富，理論分析深入，既涵蓋了國內(nèi)外先進光學制造技術領域的研究進展，又概括了作者多年積累的該領域科學研究成果，對于從事此方面研究的科技人員具有重要的參考價值和指導意義。 oF^B