上海光機(jī)所在磁流變超精密加工理論及工藝研究中取得重要突破
上海光機(jī)所精密光學(xué)制造與檢測中心在磁流變超精密加工理論及工藝研究中取得重要突破。研究發(fā)現(xiàn)磁流變超精密加工中存在特定的僅有數(shù)十微米帶寬的“魔法”角度步距狀態(tài),在這種狀態(tài)下可以穩(wěn)定地獲得無波紋表面,而不影響其他空間頻率誤差的收斂。與傳統(tǒng)的磁流變正交加工方式相比,在“魔法”角度步距狀態(tài)下產(chǎn)生的中頻誤差可以減小幾個數(shù)量級從而淹沒在噪聲中!澳Хā苯嵌炔骄嗍且环N全新的消除中頻誤差的方法,簡單且高效,將磁流變推向了一個更高的加工極限。相關(guān)成果發(fā)表于工程制造領(lǐng)域重要期刊International Journal of Machine Tools and Manufacture中。 在現(xiàn)有的各種子孔徑拋光手段中,磁流變拋光是為數(shù)不多的能同時保證去除精度、表面質(zhì)量和加工效率的工藝之一,具有對平面、球面和非球面等各類光學(xué)元件進(jìn)行高效超精密加工的能力。相對于確定性差的小磨頭拋光技術(shù)和效率低且材料受限的離子束拋光技術(shù),解決磁流變加工技術(shù)的中頻誤差問題可以把超精密光學(xué)元件尤其是非球面光學(xué)元的加工變得容易,促進(jìn)高功率激光、納米光刻等高端光學(xué)系統(tǒng)的發(fā)展。 |