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摘要 kM9E)uT>(< 1miTE4;? 像光柵這樣的光學設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當考慮光的偏振非常重要。 在實際中,光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。
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-M/ny-;`} x$A5Ved 光柵仿真中的非偏振光 HPt" •光柵分析 Xw![}L> −對于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計算 !5{t1 oJ 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 { >4exyu6 Z7%>O:@z •非偏振平面波 -bE{yT)7 −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。 LrK6*y,z −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底投影,并且統(tǒng)計上,非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。 \hm=AGI0 −因此,我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。 ~rKo5#D &d6'$h:kHb
,AM6E63 .Mm8\]. 光柵仿真中的光源設(shè)置
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