請(qǐng)教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時(shí)候，9層膜系  ti2o5  大概250nm  科達(dá)公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0   離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測(cè)溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會(huì)有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？ 10Q!-K),p  
外面采購(gòu)的鍍膜四個(gè)側(cè)邊沒(méi)有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴(kuò)散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個(gè)產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

我看到好多資料有提到退火一說(shuō)，這個(gè)我鍍前鍍后  80度  2h也沒(méi)有什么變化

離子源和電子槍對(duì)板子都有加熱作用。 fda4M  
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 l[i1,4  
你兩面都鍍一下看看

ouyuu:離子源和電子槍對(duì)板子都有加熱作用。 keG\-f  
還有就是膜本身的應(yīng)力作用也會(huì)造成板子變形。 -1~o~yGE  
你兩面都鍍一下看看 (2021-02-10 03:29) 
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我現(xiàn)在嘗試了很多種辦法，最可疑的是我低溫不加離子源也是會(huì)變形的，我現(xiàn)在懷疑冷卻水流速壓力不夠，0.3是否需要提高到0.4，另一則，我腔體、門(mén)上和工架傘都包了錫紙了，是不是間接的把輻射都給了鏡片了，不知道有影響不

片子尺寸大厚度薄，應(yīng)該是膜層應(yīng)力作用導(dǎo)致片子變形

http://www.belacell.cn/job.php?action=download&aid=105794 [-81s!#mkw  
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。

ouyuu:http://www.belacell.cn/job.php?action=download&aid=105794 bxBndxl  
關(guān)于應(yīng)力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  kGakdLl  

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