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    [分享]用于光學(xué)檢測的斐索干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-02-23
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    摘要 <CJua1l\  
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    斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測量儀器，常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù)，我們建立了斐索干涉儀，并將其用于測試不同的光學(xué)表面，如柱面和球面，可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。