有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，歡迎大家討論，同鍋鍍膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/藍(lán)寶石，測試結(jié)果都OK S}O>@%  
設(shè)備試過濺射設(shè)備（新克隆/光馳）/蒸鍍（光馳/新克隆/聯(lián)合真空） KASuSg+  
AF克藥試用很多種類，沒有改善效果。 ~  4v  
初步分析是摩擦后打底層脫落，打底材料試過P藥/AL203/SIO2。 DzfgPY_Py  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI r8.`
W\SKX  
現(xiàn)懷疑是清洗導(dǎo)致表面附著--硅酸鋰和硅酸鈉（希望大家給些清洗建議），驗(yàn)證不清洗比清洗后效果要好。 rq>}] U  
有沒有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的，歡迎探討! /5Od:n  
R`[jkJrc  

如果是基底問題的話，你蒸鍍前用離子源（AR)使勁轟個(gè)十五分鐘。 *~D|M  
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不會(huì)有問題了。 og`rsl  
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