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Design Tool中,EdgeFilter的功能是可以用來(lái)幫助設(shè)計(jì)邊緣濾波器的結(jié)構(gòu)。一個(gè)簡(jiǎn)單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的,在基板和入射介質(zhì)旁邊的幾個(gè)匹配層可以用來(lái)抑制通帶波紋。當(dāng)傾斜時(shí),高反射率區(qū)的寬度對(duì)S偏振光有增大的趨勢(shì),對(duì)P偏振光有減小的趨勢(shì),導(dǎo)致偏振分離。四分之一波長(zhǎng)堆棧不容易得到顯著改善,但是Thelen 已經(jīng)表明五層對(duì)稱(chēng)周期是可以作為邊緣濾波器的基礎(chǔ)的,其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴(yán)格來(lái)說(shuō),這只是在一個(gè)入射角,但經(jīng)驗(yàn)表明,在一定角度范圍內(nèi)分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個(gè)對(duì)稱(chēng)的周期,并設(shè)計(jì)一個(gè)非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術(shù)來(lái)識(shí)別所有可能的組合,并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合,但是后者受到一定限制。 l#,WMu& >4.{|0%ut
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