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    [分享]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-03-19
    摘要 T8441qo{>  
    S!q}Pn  
    高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 {6n \532@  
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    建模任務(wù) Q'a N|^w"f  
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    概述 {^f0RGJg9  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 m6x. "jG  
    •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 2`I;f/S d  
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    光線追跡仿真 +zdkdS,2<  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 N 9&@,3  
    •單擊go！ ee_\_"  
    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 E`4=C@NN+,  
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