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])UwC-l 摘要 5us^B8Q C5;wf3 高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學光刻、顯微鏡等。因此,在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應。 5{>>,pP& }H2#H7!H
;h9W\Se H0+:XF\M 建模任務 'e85s%ru D:)~%wu Lt
Z/c_kf[ `V@z&n0P6 入射平面波 `
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