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光學干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細節(jié)分析，特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應用最廣泛的表面輪廓檢測技術之一，正占據(jù)著重要的地位。我們在VirtualLab Fusion中構建了一個基于斐索干涉儀的測試光學系統(tǒng)，使用幾種類型的表面作為測試對象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。 XP n Hi@x
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用于光學測試的菲索干涉儀 Y n0iu$;n
FC]n? 1?<( 利用非序列場追跡技術建立了菲索干涉儀，給出了不同測試表面的干涉條紋。 :sA UV79M
rfr]bq5 馬赫-曾德爾干涉儀 M)H*$!x}> #qK5 i1< 我們在VirtualLab Fusion中構建了馬赫-曾德爾干涉儀，并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響。 Y_~otoSoY
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