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    [分享]二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-20
    摘要 !]?kvf-3e  
    E4=D$hfq`  
    復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 Cn=#oE8(A  
     S['rTuk  
    1. 本案例主要說明： ){mqo%{SO  
     如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： cY+fZ=  
    - 基于介質(zhì)的定義類型 n?c[ E+i;  
    - 基于表面的定義類型 ,f%4xXI  
     計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 ,2U  
     注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 t"9r`0>  
     J>+\a1{  
    2. 光柵工具箱初始化 VI|2vV6?  
     初始化 3rMi:*?  
    - 開始→ .5>]DZn6  
    光柵→ >KQ/ c  
    一般光柵光路圖(3D光柵) ]w,|WZm  
    oNYFbZw  
     PDH|=meXM  
     注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 P_H2[d&/>D