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摘要 i,y{*xBT $yZP"AsAR 當用近軸光照明時,亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 y$|OE%S U,`F2yD/!
xAf?E%_pi B/EGaYH 1. 建模任務(wù) i+Xb3+R aXD|XE%
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yvI7o HxShNU 2. 結(jié)果 y(r(q LC/%AbM
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Or()AzwE@ ]!N|3"Ls 3. 文件和技術(shù)信息 @%As>X<3t Xu[A,6
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