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本案例介紹利用衍射擴(kuò)散器使準(zhǔn)分子激光光束均勻化，通過(guò)優(yōu)化擴(kuò)散器以生成一個(gè)圓形的top hat。 [?=DPE% $2Awp@j 關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)，衍射光學(xué)元件，均勻（homogenization），擴(kuò)散器，準(zhǔn)分子激光，部分相干 -]-0]*oAp ++UxzUd 所需工具箱：Starter Toolbox Premium fT{jD_Q+3 [VLq/lg* 相關(guān)Tutorials：HSL.1, DO.2 ;1s;" 4`'Rm/) 建模任務(wù) N?8nlrDQ 衍射擴(kuò)散傳輸器 目標(biāo)平面 -7XaS&.4 O$x +>^  ] T(qk
準(zhǔn)分子激光 聚焦透鏡（f=20mm） 強(qiáng)度分布 4]E1x l mI\[L2x  ADM!4L(s4} 照射光束參數(shù) Uu@qS C?MKb D=K ·光源面尺寸：100×100um w11L@t[5W8 ·發(fā)散角（HWHM）：0.89×0.89° xSO5?eR"u ·空間相干長(zhǎng)度：3×3 um ,-kz \N@. ·波長(zhǎng)：351nm 1FG"Ak}D APJFy@l} 衍射發(fā)散器 / cVZ/" yRD tPK"E-  6mIeV0Q'
g~(G P ·取樣間隔：5um _RS
CyV ·尺寸：640×640um Z2-tDp(I ·相位階數(shù)：8 \F\xZ.r 發(fā)散傳輸器相位 ,,1y0s0` .g7\+aiTUd 載入光路徑圖 nEP3B '+ rWqr-"0S.  zTl,VIa3p
t?b@l<, s ·載入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。 qVO,sKQ{ ++ 5!8Nv · 該文件在本案例VL_Samples文件夾中。 VV#'d 5E 9R+N 高斯型面光源 3[?;s} 61 DwK$c^2q{.  ,1.Td=lY$
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雙擊Gaussian Type Plane Source打開(kāi)編輯對(duì)話框。
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