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摘要 #'x?)AS N
>!xedw= 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 \=7=>x_ pYVy(]1I(3 `5-#M/J CLfb`rF 光柵詳細(xì)說明 n:'BN([]o ['emP1g~ 5{q/z^] XyphQ}\u •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 s7o*|Xv •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 ~5uNw*H vkpV,}H 光柵階次分析器設(shè)置 O{#Cddt:r Noxz kpMF •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 LDEt.,6i •可以指定各種輸出選項。 q"D
L6 >j •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 ;lH,bX~5 t!SQLgA TDIOK htYrv5q=M 常規(guī)設(shè)置 ,?<h] !aQ \a2oM$PX DD 5EHJR ]8>UII
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