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    [分享]光柵階次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-30
    摘要 |WDMyKf6J  
    8a3h)R  
    光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 0 pPSg9  
    :pvJpu$]  
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     -]k vM  
    光柵詳細(xì)說明 M#;"7Qg  
    B'8/`0^n5  
     k}FmdaPI'  
    G#nZ%qQ:I  
    •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 CWw#0  
    •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 H[D<G9:  
    )4e?-?bK!  
    光柵階次分析器設(shè)置 <S68UN(Ke  
    xSy`VuSl  
    •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 :.aMhyh#*  
    •可以指定各種輸出選項。 LeaJ).Maw  
    •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 SZ(]su:  
    (rm*KD"]  
     R]<N";-  
    T1#r>3c\  
    常規(guī)設(shè)置 ]-"G:r  
    XDohfa _  
     m6Mko2  
    M)1Y7?r]  
    •在“常規(guī)”選項卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 F_F02:t  
    •另外，可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 ^Fpc8D,  
    Wmc@: (n  
    單個階次設(shè)置 cK.z&y0]  
    U'k 0;  
     zv0bE?W9   
    _9:r4|S  
    •在“單個階次”選項卡中，可以選擇是否記錄單個階次的信息。 H5>?{(m  
    •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運行或參數(shù)優(yōu)化來分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項非常有用。 I>JBGR`j  
    }\0ei(%H  
    單個階次設(shè)置 *WaqNMD[%  
    Ake@krh>$  
    gE: ?C2  
    5XoM)  
     Hg5 :>?Lw@  
    `3:Q.A_?  
    探測器標(biāo)簽頁中的輸出 fLS].b]1N  
    #f<3[BLx  
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