在相位測量輪廓術(shù)中,測量系統(tǒng)中投影儀等存在的非線性響應(yīng)大大影響了相位測量的精度,因此,如何快速高效地消除系統(tǒng)中的非線性誤差是提高測量精度的關(guān)鍵。本文建立了相位誤差的精確模型,并提出了一種基于相位誤差精確模型的相位提取方法,利用高步數(shù)相移算法預(yù)先標(biāo)定各頻譜分量的比例關(guān)系,再通過迭代運(yùn)算即可得到高精度的相位分布。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法可有效補(bǔ)償非線性誤差,從而大大提高相位測量精度,同時(shí),由于各頻譜分量是通過高步數(shù)相移預(yù)先標(biāo)定的,僅三步相移即可得到高精度相位分布,滿足了快速、實(shí)時(shí)的測量要求。