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    [技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用--線型光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-05-11
    l) VMF44  
    這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 Mz]LFM  
    r3Z-mJ$:  
    光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。 y>8!qVX  
    S偏振照明的近場強度
    )'%L#  
    P偏振照明的近場強度 Re<X~j5]  
    傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 21