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摘要 >8h14uCk ZP75zeH OXc!^2^ 因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級中具有高效率,故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今,它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀,具體參數(shù)如傾斜角度,填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外,本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 AX=$r]_ Ca}T)]// 建模任務(wù) kU^*hd] yg34b}m{ 衍射效率與相對深度 ,SQmQ6h ^y:!=nX^ Mg3>/! 在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法(FMM)(也稱為RCWA)進(jìn)行仿真。 Dn/{ s$\ NvCq5B$C ]M%kt
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