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摘要 "<f?.l\+ L[<CEk 通常,計(jì)算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實(shí)。 其中一個(gè)例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì):制造技術(shù)不能實(shí)現(xiàn)完美的銳利壁,而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果,根據(jù)用戶指定的值對(duì)其邊緣進(jìn)行圓整,以便分析更真實(shí)的結(jié)構(gòu)。 BqDsf5}jpA h"'}Z^ F`,Hf Cb\ 7]~|dc( 用于平滑結(jié)構(gòu)邊緣的可編程模塊 : %uaaFl @ZrNV*&< `wr*@/P 提示:模塊的輸入與輸出是“DataArray(數(shù)據(jù)數(shù)組)”類型。您可通過查看附帶的樣本文件得到全部代碼。 FlY"OU* 1QnaZhu' 文件信息 d(Hqj#`-31 8iM:ok ",#Ug"|2 ^:,wk7 W|(<z'S QQ:2987619807 &}K%F)S
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