——在激光加工中的應(yīng)用 _)lK.5  
1引言 C!v0*^i  
激光加工技術(shù)已經(jīng)滲透到科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域中，特別是超快激光加工由于其超短脈沖、極高峰值功率、冷加工等特性已大幅提升了加工質(zhì)量并拓寬了加工領(lǐng)域。當(dāng)前超快激光加工已成為精密加工中最為重要的部分，被廣泛應(yīng)用到微孔加工、超表面結(jié)構(gòu)制造、微流體、量子點(diǎn)及電子制造等領(lǐng)域。 Ro?yCy:L'  
盡管擁有這些優(yōu)勢，但單焦點(diǎn)的超快激光加工技術(shù)存在著加工區(qū)域小、效率低的問題，也無法適用于材料的大面積加工、體加工、結(jié)構(gòu)一次成型加工、矢量光加工等應(yīng)用場景。 "x&H*"  
為了提高超快激光微加工過程中的加工效率，采用多光束并行加工的方法以提高超快激光微加工的效率已成為一個(gè)重要的研究方向。 |)1"*`z  
目前，市場上存在的激光產(chǎn)生多光束的方法有：多激光器法，分束鏡法，衍射光學(xué)元件法等，并且得到了一定的應(yīng)用。但這些技術(shù)多為靜態(tài)分束，存在分束的數(shù)量有限，無法對單一光束進(jìn)行獨(dú)立控制，缺乏控制的靈活性，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工成本高等不足。因此，難以實(shí)現(xiàn)靈活可控的高效、高精度多光束并行加工。 i9w xP i  
空間光調(diào)制器（SLM）的出現(xiàn)使得上述問題很大程度上得以解決，SLM可以對激光光束的振幅、相位或者偏振等光學(xué)參數(shù)進(jìn)行調(diào)控，配合一定光路設(shè)計(jì)即可以在材料加工區(qū)域得到任意的光場強(qiáng)度分布。近年來，隨著高損傷閾值SLM的出現(xiàn)及超快激光器的發(fā)展，將SLM與超快激光結(jié)合來實(shí)現(xiàn)高效、高精度且靈活可控的并行加工技術(shù)已逐步成熟。 >[ywrB ?T  
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